XPS中绝缘样品和薄膜样品分析
结合绝缘样品和薄膜样品XPS分析中的特点,解读国家标准 GB/T 25185-2010表面化学分析 X射线光电子能谱 荷电控制和荷电校正方法的报告, GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告, GB/T 25188-2010硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法。
全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分技术委员会
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