扫描探针技术在半导体材料及器件表界面分析中的应用
扫描探针显微镜可以有效的分析表面的结构、光、电等多种特性。本报告利用扫描探针技术建立多种半导体光电材料及器件界面工作状态的物理图像,基于获得的图像对半导体材料的特性优化、器件界面输运机制以及器件的性能优化进行讨论。
暨南大学
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