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所属会议:首届半导体材料与器件研究与应用网络会议(iCSMD 2020)
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电子束曝光及相关技术的研究
对电子束发展历史、基本原理和国内的发展现状进行了简单介绍。
612
2020-10-21
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韩立
副所长/研究员
中国科学院电工研究所
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