原位表征在电子信息领域的应用--仪器信息网3i讲堂

所属会议:第七届电子显微学网络会议（iCEM 2021）

原位表征在电子信息领域的应用

随着纳米技术与电子信息产业的快速发展，核心材料与元器件的特征加工尺寸已走向5纳米。在未来更小尺度下，材料是否依然那样稳定？如此小尺度下如何精准表征和检测这些材料的稳定性和可能的新物性？新型纳米材料能否派上用场？可以实现哪些应用？所有这些都需要在原子尺度上首先精准的表征出材料的结构特征，之后探索精准的调控与实现原子尺度制造的方法，最后基于这些方法实现其可能的结构组装与相关应用。本报告借助自主搭建的可实现原子分辨的原位-多场加载研究系统，探索材料原子尺度下的精准表征、制造及其在电子器件、能源和环保领域的应用，阐明全面开展原子尺度制造的重要性及其对未来纳电子器件及相关应用研究的重要意义和深远影响等。