半导体洁净间的AMC检测
半导体行业生产过程中,为了保证产品质量,防止腐蚀、结晶等问题的发生,生产所需的洁净间的空气质量必须达到一定的要求。为了保证洁净间内的空气质量达标,国际上同行做法是进行AMC在线监控,通常情况下通过对特定物质采用低检出限、高精度的连续检测方法,实时监控洁净间内的空气。
HORIBA过程环境事业部
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