如何用原子力显微镜评价高质量薄膜
近几年,由于2D材料的火热和半导体行业的飞速发展,高质量薄膜沉积和外延生长越来越受到关注。CVD技术是制备高质量薄膜的技术之一。如何评价高质量薄膜对优化工艺非常关键。原子力显微镜(AFM)是评价薄膜质量不可或缺的技术手段。在本次讲座中,主要用AFM评价薄膜质量,材料涉及衬底、2D材料、半导体材料,量子点等,评价涉及薄膜生长机制、表面不均匀性、缺陷类型、薄膜粗糙度、力学性质、电学性质等,从而实现对薄膜质量的全面评估。
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