半导体离子传感器及新型可大规模集成无参比电极半导体离子传感器
以离子敏感场效应晶体管为核心单元的半导体离子传感器在食品、环保、生命健康和物联网等诸多领域都有巨大的应用前景。本报告重点讲述新型的新型可大规模集成无参比电极半导体离子传感器(RELESIS), 包括 RELESIS的原型器件结构、工作原理、技术挑战与应用前景。
复旦大学微电子学院
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