基于扫描电镜和双束电镜的原位微反应系统
材料合成中的反应温度以及反应气氛均会影响材料显微结构,从而决定材料最终性能。随着新材料的发展,迫切的需要精准地调节材料合成工艺中的“温度”和“气氛”这两个最重要参数。基于扫描电镜和双束电镜的原位微反应系统具备原位气氛加热功能,其低热漂移设计,实现在1200℃高温下,实现高分辨率SE/BSE成像,也可以实现高分辨率STEM、EDS和t-EBSD分析。
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