光电子能谱(XPS)深度剖析
概述XPS深度剖析通常应用的离子溅射深度剖析、无损伤深度剖析技术及原理。结合实际工作经验通过实例讲述XPS深度剖析在覆盖层超薄材料、多层材料分析中的应用、使用技巧、数据处理等。
北京师范大学
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