光学显微镜在半导体封装工艺中的应用
光学检测技术在半导体行业应用广泛,简单、易操作的光学检测手段可以有效对半导体封装芯片的缺陷进行检测与管控。本课程将从针对芯片检测的大平台显微镜、数码显微镜及体式显微镜等方面,介绍徕卡光学显微镜在半导体封装工艺中的应用。
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