硅干法刻蚀技术介绍--仪器信息网3i讲堂

所属会议:第三届半导体工艺及封装检测新技术网络会议

打开APP,查看更多精彩内容

硅干法刻蚀技术介绍

介绍常用的硅干法刻蚀技术及其原理，包括深硅刻蚀、浅硅刻蚀、低温刻蚀，以及脉冲等离子体刻蚀、原子层刻蚀等。

26

2024-05-14

投诉

王晓东

中国科学院半导体研究所

评论（0）

暂无数据

去评论

0

0

×

×

恐怖血腥涉黄涉政色情低俗其他