相位调制型椭偏仪与机械旋转椭偏仪的区别

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相调制与机械旋转椭偏仪的区别 使用光弹性调制器的高频(50kHz)位相调制是 JOBIN YVON S.AS椭圆偏振光谱仪的重要特征。 它用来调制探测光束的偏振状态以提供椭圆偏振光测量的高灵敏敏、精确度和准确度。这一快速、灵敏和强有力的技术比传统的旋转检偏器(起偏器)系统具有几个优点。 (1) 它没有任何转动的部件，调制速度可以非常地快.光弹性调制式的调制速度达到了50kHz，这样可以极快地采集数据，达到了 10ms/point. 而传统机械旋转偏辰光谱仪由于机械速度的限制，调制速度只有10到100Hz。数据采集速度也相应地慢了很多。 (2) 使用高频调制和位相探测使椭圆偏振光谱仪对周围环境和仪器振动导致的光变化不敏感(采用锁相技术大大改善了信噪比)。 (3) 在位相变化接近180°和0°时，光弹性调制器系统相对旋转偏振光谱仪有更高的准确度。--无死角(超薄薄膜、透明材料和透明衬底上的薄膜就属于这种工况)。 (4) 由于在数据采集过程中无机械转动部件，所以元件磨损、数据漂移带来的风险较小。 (5) 光弹性调制器系统对光源与探测器的偏振不敏感。 所有的这些特性保证了 Jobin Yvon的 UVISEL光弹性相位调制型椭圆偏振光谱仪具有长期的高准确度与可靠性，适应于您的高标准应用需求。同时椭圆偏振光谱仪的数据处理软件包含有完备的软件，可以分析复杂的多层膜和由电介质、半导体与金属组成的多组分结构。 下面是关于0，180°(死角)的注释 机械旋转检偏器(起偏器)系统探测器检偏的信号为： 由琼斯矩阵分析可得： 式中α和β是归一化的付里叶系数，平，△是样品的椭偏参数， P是起偏器的方位角。 平，△可表示为 对上两式微分，导出平，△的噪声来源 由(2)式可知，当Cos△为1或-1(即△=0°或180°)时，旋转检偏器测试误差很大。 光弹性相位调制型椭圆偏振光谱仪不使用机械旋转检偏器，在△=0°或180°时，测量精度优于0.1°。 以下为同一样品：在玻璃衬底上厚度为 47um的 Sioz膜。在两个系统上测量的结果。 旋转检偏器椭圆偏振光谱仪测量的结果 Generated and Experimental Wavelength (nm) 实测曲线噪音水平高，理论与实测曲线峰谷错位。 无△曲线。 光弹性相位调制型椭圆偏振光谱仪测量的结果(见下页彩图) 以下实验模型结构为在玻璃衬底上厚度为47um 的 SiOz膜，该样品结构为等离子显示屏(PDP)的结构。从下图可以看见实验数据和拟合结果符合的相当好。 为了得到这样的结果，我们需要说明以下几点： 其系统的特征 顶级水平的分辨率。事实上，厚膜所产生的干涉条纹是要小于 0.01eV的，因此，我们在近红外波段的分辨率需要达到 1nm 以上，才能得到如实的图象。只有用最好的单色仪配以最好的光栅才能满足这样的要求。 极端的精确度。上图中显示的绝对实验值是非小的(<0.03)。这是因为膜层和衬底之间的折射率相差非常小，仅为0.01(An~0.01)。只有相位调制型椭圆偏振仪能够达到这样的精确度。 就我们所知，这个在 Jobin Yvon UVISEL460 得到的结果，是椭偏仪测量的最厚记录。 www.jyhoriba.co.uk HORIBAGROUPFLUORESCENCE FORENSICS GRATINGS & OEM OPTICAL SPECTROSCOPY RAMAN THIN FILMEMISSION WWW.jyhoriba.co.ukGRATINGS & OEM OPTICAL SPECTROSCOPYFLUORESCENCEEMISSIONFORENSICS