OLED中缺陷检测方案(共聚焦显微镜)

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Lasertec 共聚焦显微镜在 OLED 行业的应用 关键词： LASERTEE，共聚焦显微镜， OLED OLED 的原文是 Organic Light Emitting Diode，中文意思就是“有机发光显示技术”。其原理是在两电极之间夹上有机发光层，当正负极电子在此有机材料中相遇时就会发光，其组件结构比目前流行的 TFT LCD 简单。除自身发光的特性外 OLED 还有许多优势：产品厚度更薄，能耗更低，反应时间及色彩还原都比 TFT LCD 出色，更有可弯曲的特性，让它的应用范围极广。 1、、ITO目前已广泛应用在商业化的显示器面板制造，其具有高透射率、低电阻率及高功函数等优点。利用射频溅镀法(RF sputtering)所制造的 ITO， 易受工艺控制因素不良而导致表面不平整，进而产生表面的尖端物质或突起物。另外高温锻烧及再结晶的过程亦会产生表面约5~20nm 的突起层。这是我们建议使用 Lasertec 的 HYBRID 激光共聚焦显微镜对 ITO玻璃基板平整度进行检测，以减少短路的风险，提高 OLED 产品品定性。 ITO玻璃表面平整度评价 2，为了避免亮度差、色差等问题，应保证发光层厚度均匀，实际上由于表面张力影响，在干燥过程中会在边缘出现上翘的现象。通过使用 Lasertec 的 HYBRID 激光共聚焦显微镜的反射分光膜厚功能进行测量。 发光层形状测量(蒸镀法) 3，内部异物检测，有机层微量水分会使其发生氧化出现黑点，降低使用寿命。通过使用Lasertec 的 HYBRID 激光共聚焦显微镜可以进行内部的缺陷检测，。 应用案例：内部异物检查 测试项目：缺陷检查 难点：缺陷(Z方向位置的)定位、缺陷分类 基板缺陷检查 发光层颗粒检查 针对 OLED 行业的各种检测需求， Lasertec 的 HYBRID 激光共聚焦显微镜可以灵活应对， 并给出专业的检测提案。 关键词：LASERTEE,共聚焦显微镜，OLEDOLED的原文是Organic Light Emitting Diode，中文意思就是“有机发光显示技术”。其原理是在两电极之间夹上有机发光层，当正负极电子在此有机材料中相遇时就会发光，其组件结构比目前流行的TFT LCD简单。除自身发光的特性外OLED还有许多优势：产品厚度更薄，能耗更低，反应时间及色彩还原都比TFT LCD出色，更有可弯曲的特性，让它的应用范围极广。1、 ITO目前已广泛应用在商业化的显示器面板制造，其具有高透射率、低电阻率及高功函数等优点。利用射频溅镀法(RF sputtering)所制造的ITO，易受工艺控制因素不良而导致表面不平整，进而产生表面的尖物质或突起物。另外高温锻烧及再结晶的过程亦会产生表面约5 ~ 20nm的突起层。这是我们建议使用Lasertec的HYBRID激光共聚焦显微镜对ITO玻璃基板平整度进行检测，以减少短路的风险，提高OLED产品稳定性。2,为了避免亮度差、色差等问题，应保证发光层厚度均匀，实际上由于表面张力影响，在干燥过程中会在边缘出现上翘的现象。通过使用Lasertec的HYBRID激光共聚焦显微镜的反射分光膜厚功能进行测量。 3，内部异物检测，有机层微量水分会使其发生氧化出现黑点，降低使用寿命。通过使用Lasertec的HYBRID激光共聚焦显微镜可以进行内部的缺陷检测，。      针对OLED行业的各种检测需求，Lasertec的HYBRID激光共聚焦显微镜可以灵活应对。