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半导体中元素分析检测方案(ICP-MS)

检测样品 集成电路

检测项目 化学性质

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方案详情

作为全球半导体领域的先锋,安捷伦积累了大量创新技术和卓越的服务能力。在半导体产业链 的制程监测、原材料质控、无机杂质、纳米颗粒、有机杂质检测、符合环境健康和安全法规需 求以及真空检漏等方面,都能够为您提供优异的分析仪器、软件、服务和支持,助您取得成功。

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半导体是现代电子产品的核心,应用于从智能手机到汽车等众多领域。随着半导体行业的发展, 各种器件变得更小、更快、更可靠、更强大。 为解决高昂的成本问题,半导体制造过程中的产品良率是半导体厂商最关注的问题。影响产品 良率的因素有很多,污染无疑是其中最重要的因素之一。业内人士估计,污染造成约 50% 的产 量损失。 从上世纪 70 年代到今天,芯片制程已经从“微米”时代,经过“纳米”时代,发展到当前的 10 纳米以下。随着元件缩小到单个纳米尺度,对污染物和杂质的控制变得越来越重要,因为即 使是超痕量污染物也会降低制造产量,导致产品可靠性下降或产品故障。半导体和电子产品中 的杂质分析必须贯穿整个制造过程的各个阶段,从测试晶片、原材料和工艺化学品到最终产品 的质量保证 / 质量控制。另外,在半导体全产业链的装置制造、传感器制造、控制器件制造过 程等先进制造环节,真空的控制也非常关键。 自 20 世纪 80 年代后期以来,安捷伦一直与领先的半导体制造商和化学品供应商密切合作,开 发适用于半导体产业链的分析和监测技术,应对半导体行业的分析挑战,并始终处于创新前沿。 作为全球半导体领域的先锋,安捷伦积累了大量创新技术和卓越的服务能力。在半导体产业链 的制程监测、原材料质控、无机杂质、纳米颗粒、有机杂质检测、符合环境健康和安全法规需 求以及真空检漏等方面,都能够为您提供优异的分析仪器、软件、服务和支持,助您取得成功。

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安捷伦科技(中国)有限公司为您提供《半导体中元素分析检测方案(ICP-MS)》,该方案主要用于集成电路中化学性质检测,参考标准《暂无》,《半导体中元素分析检测方案(ICP-MS)》用到的仪器有Agilent 7850 ICP-MS 质谱仪 、Agilent 8890 气相色谱系统、Agilent 7250 GC/Q-TOF 气质联用系统、Agilent Ultivo 三重四极杆液质联用系统、HLD PD03干式氦质谱检漏仪、Agilent Cary 7000 全能型分光光度计(UMS)。

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