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半导体工业生产中,几乎各道工序都用到超纯气体,按其用途可分为保护气体,反应气体以及运载气体。从气体种类又分为超纯大宗气和电子特气。超纯大宗气包括氮气，氢气，氧气，氩气，氦气和压缩空气等，主要用于半导体及光伏太阳能生产中作为载气、稀释气、冷却气、吹扫气、氧化气、燃烧气等；电子特气作为特种气体的一种，在电子产品制程中广泛应用于刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等半导体材料的“粮食”和“源”。极微量的杂质就可能破坏半导体产品的结构，影响产品的强度、镀膜厚度、导电性、表面完好性及效率，同时也会对机台本身产生影响。目前气体公司供应气体方式暂时无法提供更高纯度气体，普通气体纯度：4N~5N（99.99%~99.999%），需通过纯化到7N-9N（99.99999%~99.9999999%）才可以满足半导体精密制造、光伏器件需求环境。华邦化学气体纯化器通过化学吸附和物理吸附相结合的方式，可将工艺气体中的杂质脱除深度至0.1ppb以下，配备316L EP级吸附管，洁净施工，并且内置0.003微米316L颗粒过滤器。可配各式接口，同时提供定制服务，满足各种环境下的产品使用方式。华邦化学气体纯化器高质量元器件、洁净装配、出厂前测试；严格的质量管控、周到的质量跟踪服务；拥有西安、长沙两个大型纯化器长期运行测试基地，开发的每个系列的设备，均经过超过24,000小时测试。华邦化学HPC气体纯化器适配气体包括：超纯大宗气：电子特气：标准型号范围从2slpm到2000slpm各型号可选。华邦化学掌握POU气体纯化器核心技术，自行开发生产催化剂、吸附剂，並不断开发更高性能的催化剂。现有型号如果无法满足，我们可以最快速度完成定制服务，并且周期短、价格合适。华邦化学共申请知识产权40余项、授权发明专利2项、实用新型专利16项，形成较为完善的自主知识产权体系。POU气体纯化器有千万级的常备库存，我们能保证国内范围最快到货，持续稳定供应过硬品质产品，如有兴趣可随时联系我们。
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大连华邦化学有限公司为您提供《半导体、光电行业微纳加工的超纯气体解决方案》，该方案主要用于集成电路中无检测，参考标准《暂无》，《半导体、光电行业微纳加工的超纯气体解决方案》用到的仪器有POU气体纯化器Q9、POU气体纯化器。
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