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金属样品中实验室检测方案(离子溅射仪)

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ETD-800型全自动离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。

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溅射离子泵的原理早在本世纪初, 就有人在抽真空的电子管中蒸发一些化学活动性强的金属, 使其与管内未能抽净的气体发生反应, 从而降低空间的气体分子浓度。这种金属以及起着相同作用的材料就叫做吸气剂, 这种方法叫做化学清除。实验证明, 用钛持续蒸发到一个冷却的壁上, 可以形成具有相当抽气速率的泵, 形成简单的升华泵。俘获气体分子还可以使用电离吸附的方法。利用高速电子轰击气体分子可以得到正离子, 正离子在电场作用下被驱逐到负电极上, 中和后由于分子间的范德瓦尔斯力被金属吸附而不再离开电极。这样降低了空间气体分子浓度, 达到了获得真空的目的。这种现象称为电清除, 利用电清除达到除气目的的泵称为离子泵。离子泵对吸附的气体没有选择性。离子泵和升华泵都能获得很高的真空度, 但是单独使用它们来获得更高的真空就有很大的困难。这与它们的工作机理有很大的关系。依靠物理吸附的离子泵俘获气体分子的能力有限; 升华泵产生的化学键能虽然大, 但很容易在其表面形成饱和, 影响其进一步吸收气体, 而且升华泵对惰性气体吸附效果不好。因此将两种泵合二为一, 就能得到吸气效果更好的溅射离子泵。 溅射离子泵的原理 早在本世纪初, 就有人在抽真空的电子管中蒸发一些化学活动性强的金属, 使其与管内未能抽净的气体发生反应, 从而降低空间的气体分子浓度。这种金属以及起着相同作用的材料就叫做吸气剂, 这种方法叫做化学清除。实验证明, 用钛持续蒸发到一个冷却的壁上, 可以形成具有相当抽气速率的泵, 形成简单的升华泵。俘获气体分子还可以使用电离吸附的方法。利用高速电子轰击气体分子可以得到正离子, 正离子在电场作用下被驱逐到负电极上, 中和后由于分子间的范德瓦尔斯力被金属吸附而不再离开电极。这样降低了空间气体分子浓度, 达到了获得真空的目的。这种现象称为电清除, 利用电清除达到除气目的的泵称为离子泵。离子泵对吸附的气体没有选择性。离子泵和升华泵都能获得很高的真空度, 但是单独使用它们来获得更高的真空就有很大的困难。这与它们的工作机理有很大的关系。依靠物理吸附的离子泵俘获气体分子的能力有限; 升华泵产生的化学键能虽然大, 但很容易在其表面形成饱和, 影响其进一步吸收气体, 而且升华泵对惰性气体吸附效果不好。因此将两种泵合二为一, 就能得到吸气效果更好的溅射离子泵。

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