【讨论】扫描电镜聚焦和工作距离的关系

你的操作没有问题，仪器正常。
过聚焦和欠聚焦图像虚实的过程中图像还在放大和缩小，就是因为改变了工作距离，从而使得扫描区域大小有所改变。
粗调变化明显，细调变化不明显。

那个随聚焦而变化的数值指的就是电镜极靴到电子束聚焦点之间的距离。当样品图象清晰时，电子束聚焦点正好处于样品表面，这时该距离数值正好与样品表面和极靴的距离相等，该数值即为正确的工作距离。

聚焦距离：就是电子聚焦时（正焦）的距离；WD：样品表面到接物镜的距离。两者在理论上值是一样的。

说的没错，电镜中工作距离不是靠样品台控制，而是靠电子探针控制。
工作距离的准确性是在仪器制造过程中，用标准量规校准过的。然后随着聚焦电流的改变按照一定函数来计算工作距离！

谢谢各位。但是我觉得开始通过调样品台升降，已经调节到某个工作距离了，调焦工作距离不应该跟着变动啊，因为我并没有升降样品台。就是说实际工作距离和调焦工作距离是一会事吗？

你可以做一个实验：假设图像清楚，工作距离是20mm，你通过调解物镜焦距把工作距离调节到5mm，这时候图像非常模糊，这是为什么？因为扫描在样品上的不是电子束最细的交叉斑，而是远离交叉斑的位置，电子束非常粗，所以不清楚。现在不要调解聚焦了，只升样品台，当样品表面离物镜下极靴5mm的时候，图像最清楚！
也就是说，现在样品实际到下极靴的距离，和交叉斑到下极靴的距离一致了，图像才是最清楚的。

你有没有注意过，在低倍调焦的时候，尤其是粗调，图像还会左右摆动？

[quote]原文由 驰奔(srd2009) 发表:谢谢你！也就是说实际工作距离和通过调焦得到的工作距离是一致的？我们老电镜剑桥S360就是先调节到能谱效果最佳的位置，然后手动调节样品台，等图像最清楚就调好了。

还有个问题，我想做20K或者30K倍的高倍组织观察（低合金碳钢材料碳化物析出相），参数怎样调节比较好（如工作距离等等）？电镜型号EVO50，现在到8000倍以上，图像就聚不清楚，有时有左右晃动的锯齿，一会没有，在过一会又有这种锯齿，我估计是象散的问题，物镜光阑位置不好。有识之士帮我看看，谢谢！

[div][/div]

金相样品比较平坦，工作距离可以小一些。我经常看到例如tescan的高倍照片，工作距离为4mm，我的习惯是5-7mm，这可能和电镜结构有关系，（探测器相对样品的位置，例如现在某些扫描电镜二次电子探测器主要位置样品室外可调）。
图像边缘左右晃动的锯齿可能是电磁干扰，有些电镜可以用同步照相屏蔽掉。象散是聚焦图像特征对角线方向的拉长，可以消除。

高倍图像要兼顾作用于样品的最小束斑尺寸，和成像的反差（信噪比能够接受）。