【求助】样品表面是曲面可以进行扫描电镜观察吗？

是不是要測樣品表面的粗糙度啊﹖可以通過切片的方式先制樣的.

不是看表面粗糙度，样品是圆棒，我要看它侧面上的缺陷。

两个问题综合起来说：先在显微镜下找到缺陷用碳素笔圈好，放入电镜后由低倍到高倍用选区扫描寻找目标物。这类试样一般要在比较高的倍率下才有更好的对比度。由于是曲面，视场不可能全部聚焦清楚。

应该没问题，缺陷尺寸相对于曲面来说不至于影响观察。

这个球球表面算不算曲面？不是看的挺清楚的吗。

好例子，lz说得的事情都不是很难实现的，曲率的问题一般电镜都可以解决，抛光样品需要从低倍开始找一个目标点，然后聚焦清楚后放大，重复，最后完成拍图就可以了。

上面说的曲面是宏观的工件，你这个小球的直径只有7.14μm,应该是清楚的。也是扫描电镜的景深可以满足的。否则断口还怎么看。工件表面能否同时聚焦清楚还与工件直径有很大关系。该工件是圆棒，缺陷的分布一般是纵向的，不会影响缺陷的聚焦。少数情况也有横向分布的缺陷。

驰奔(srd2009) 发表:这个球球表面算不算曲面？不是看的挺清楚的吗。

由于SEM有景深的问题，所以曲面不可能完全聚焦清楚，最好先低倍找到缺陷（低倍时景深也较大）然后在放大观察，注意不平整的东西不要碰到极靴下的探头！

样品抛光了，一样可以进行观察，只要导电性良好

如果看二次电子像，太平了才难拍呢。景深大是SEM的一大优势。