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  • 【序号】: 1
    【作者】: 光学工程
    【题名】: 基于ANSYS的(非)平衡磁控溅射镀膜机磁场模拟
    【期刊】: 优秀研究生学位论文
    【年、卷、期、起止页码】:
    【全文链接】:http://edu.nulog.cn/detail.htm?306178

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