【求助】日立S4800多长时间做一次烘烤

真空度下降的厉害，有spotsize出现就要做烘烤了

一般一个月做一次，当机器停用一段时间再启用的时候，应该做一次时间比较长的烘烤，例如24小时

HI-TACHI 4800

烘拷半天以上

根据IP2的真空值，一般降低一个数量级必须烘烤。另外IE电流下降很快，和灯丝尖噪音很大都需要烘烤。没有具体时间规定。

一般半年左右做一次,如遇到断电停机或者IP真空度下降严重的要立即做烘烤.

看Tip Noize出现的时间及持续的时间，以及TipNoize消失后的平台期是不是太短（低于4-5小时），Ie在"SET"了以后是不是仍然很快地往下掉，再就是看真空度了~

一般一个月做一次烘烤，夏天天气潮湿、气温高，烘烤次数可频繁些。冬天空气干燥阴凉可根据情况烘烤。
目前使用的 日立 S-4800，一般情况下，IP1: 0.0E-8,IP2:0.0E-8,IP3:2.0E-6，烘烤后，IP3:6.5E-7.单位Pa.

保养的不是太好呀！我的已经一年三个月了还不需要烘烤，指标是IP3不用时2E-8,使用时2E-7