扫描电镜（SEM/EDS）
fengyonghe
第1楼2011/02/21
要弄清是哪一级真空上不去，按你说的情形是离子泵问题的可能性大。
wdwsnnu
第2楼2011/02/21
多谢，我们已经检漏了排除漏气可能性，泵没问题，今天还抽到了最好状态，不过真空度很快又降下来了
unht
第3楼2011/02/23
还有这种情况．．．不清楚．．．
m520j
第4楼2013/09/26
电镜不能关机时间太长，不行的话就重新启动一下真空泵~~~试试~~~
lizhenhua98
第5楼2013/09/28
试试在密封圈上涂点真空硅脂吧，不要多涂。
书生人家
第6楼2013/10/15
是不是没加液氮的问题，我的机子也碰过这样的问题，一直都加了液氮，但如果机子里的液氮没有了，可能会导致掉真空。加了液氮后，真空能很快抽上去的。
胖胖熊
第7楼2014/05/12
样品室密封圈是不是老化了
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