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绝缘样品的AES测试

元素分析综合讨论

  • 各位好，我们想测氮化硅（电阻率非常高，几乎绝缘）的元素分布规律，想利用AES，听说AES测试样品需要有一定的导电性，我以为是因为导电性不好的话，会放电，然后无法利用二次电子像观察样品。所以在做之前就吧氮化硅样品上喷了层薄薄的金，然后在进行AES测试时，利用Ar离子从表面的金开始向内剥离，谁知道剥离掉金，开始测试氮化硅的时候，出来的信号很奇怪，谱线左侧的噪音很大，测试老师说这样的样品不能测，结果没法用......。
    我想问问各位专家，我的样品是不是没有办法做AES，还是要选择一个怎样的测试条件，或者制样方法？谢谢各位。
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    +关注 私聊

  • cnzxchen

    第1楼2011/12/30

    友情帮顶。没做过AES，从学到的知识来说如果导电性不好会引起Auger峰有些shift，并且信噪比也不好。

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    +关注 私聊

  • blackbeauty

    第2楼2012/08/01

    用PHI的仪器去做，采用低能双束流中和技术，即采用低能的电子束和离子束中和绝缘样品表面产生的电荷。不用喷金，喷金不能解决问题。

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