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请教:做SEM时,样品老被打黑怎么回事?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 电子束选定区域(sem照片上)出现浅黑色图像,请大虾指点!
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  • xlbmcr

    第1楼2006/04/15

    这是由于样品不干净、或导电不好,C污染所致,当高倍率调整后,回到低倍率时,看到的现象

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  • diamond2006

    第2楼2006/04/17

    主要是导电不好,如果可以的话,可先将试样镀覆一层碳后在观察

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  • cxlruzhou

    第3楼2006/04/17

    我的是半导体材料,电阻率在10(-2)欧姆厘米,是不是做电镜时常用的导电胶没贴好,用导电Ag浆会好点吧。

    Ag浆和常规的黑色导电胶差别(导电性方面)有多大?

    请大虾指点,谢!

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  • jbli

    第4楼2006/04/17

    银导电胶和黑胶(炭胶)不是一个档次,导电率至少差着几百倍,价钱也差十几倍。你可以作一个实验,用银胶和黑胶引一根一毫米宽5厘米长的线,看看电阻大小,这个实验我作过,一试便知。

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  • braveyong

    第5楼2006/04/18

    主要是由于C脏污引起的, 来源于扩散泵油

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  • mingbright

    第6楼2006/04/18

    用导电Ag浆会好。另外可以在一个区域聚焦,清楚后马上到另外一个地方拍照。

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  • cxlruzhou

    第7楼2006/04/18

    谢谢各位大虾指教!

    我这两天正联系买点银导电胶尝试下,主要是想看清楚薄膜样品的断面。

    普通的碳导电胶sem照片老做不好,喷金却又部分掩盖了样品断面的信息,效果

    也不好。

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  • junhe

    第8楼2006/04/19

    一般 在导电不好的情况下,电压高,电流大,在高倍下时间太长,回到低倍就看见一个暗斑。
    你用低一点电压可以吗?

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  • cxlruzhou

    第9楼2006/04/22

    谢。。

    低电压效果好了点,上次用的10kv,这次用5kv.

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    第10楼2006/04/24

    和用放大器在阳光底下看书是一个道理。

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