ICP-MS （thermo x series2 ）做净化室有没有什么要求？

应助工程师

这个最好是咨询做洁净室的厂家了，比如100级、1000级、10000级的洁净室，各自的参数要求都不一样。

我们打算做个万级的。主要是因为我们的ICP-MS 一直常开的，所以房间的抽风设施一直常开着。这样房间的话容易形成负压。我记得原来工程师说过抽风的风速好像为9立方米/分钟，所以要使房间处于正压。不知道有此说法吗。另外湿度范围好像是40-60.。。。

一.仪器室要求和设计(参考图1和图2)

1.仪器室应根据所准备的房间的格局来进行设计，一般ICP-MS实验室因痕量分析都希望有防尘设施的考虑，使用双层门窗或将窗户密封，进风口滤网过滤尘土。仪器间与走道之间应设有过渡房间，要求对大的实验室进行分隔处理， 不能使用一间门口直接对着楼道的小的房间。

2.样品中如需要分析易污染的痕量级元素项目时(一般是指元素的质量数小于80的常见元素，如微电子行业或超纯材料样品），仪器室和样品准备室必须使用净化实验室，净化程度需高于一万级，且样品处理需要使用百级净化工作台。

3.对大实验室分隔后，仪器室的面积至少大于10平方米， 实验室门宽度至少0.80米以上，否则仪器无法进入实验室。

4.仪器室温度应在18℃至26℃，每小时的温度变化应小于2℃， 考虑到仪器本身产生的热量，需配置一台2匹冷暖空调(最好是变频空调)；仪器室的相对湿度应小于60%，对于南方地区或湿度较大的北方地区，需配备大于50升的除湿机一台，另外需在放置循环水的房间安装一个1.5匹分体空调。

5.仪器室设计时，主机稳压电源，循环冷却水系统放在隔壁房间内，隔墙底部打一个6厘米左右的圆形小孔，以便穿电缆和水管，循环冷却水系统不宜离仪器主机太远，距离一般应小于5米。气体钢瓶室与仪器间分开，事先用外径6毫米增强型塑料气管通入仪器间。

6.仪器台:仪器台要求稳定可靠，承重能力大于300千克，木制或钢木结构均可，仪器台的宽度为75厘米，长度为150厘米(若选购自动进样器时则为180厘米)，高度为70厘米或75厘米，仪器靠左面放置，以便留出放置样品的区域。
X2安装条件见附件。

楼主要放置ICP-MS的仪器室与电厂正对着吗？如果是可以对玻璃做下密闭性处理。

谢谢悠扬的详细解释，我想知道的是净化室的设计参数。。。

是得，已经对玻璃做密闭性处理。但房间一直开着抽风，房间处于负压状态，所以灰尘还是能从门缝什么的进来。所以考虑做净化室。

咨询做超净间的厂家，百级、千级、万级都是有要求的。

应助工程师

个人感觉：如果只是仅仅防止灰尘的话，可以在玻璃室上加一个送风口，该送风口用PVC管连接到中效和初效过滤网上，用风机将新风经过初效和中效过滤后送进ICPMS房间。
至于需要多少的风量，理论上也不复杂，taobao上买个风速计（80块左右吧），测试下ICPMS出风口的风速，再乘以管径，就可以得到每秒抽风量。只要送风量大于这个抽风量，实在不行的话在这个基础上增加20%应该就可以形成正压了吧？

呵呵，完全是纸上谈兵，仅供参考。晚上回家再用excel画个示意图

关于洁净厂房设计规范的传送门：http://www.fenglins.com/article/20120203143753.html

应助达人

超净室的维护成本不低啊，我们有ICP-MS但是还没有洁净室