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有用 FTIR 测试半导体相关的吗?

红外光谱(IR)

  • 有哪位大虾用 FTIR 测试以下内容的吗?

    §A. BPSG/PSG之含磷、含硼量预测 §B. 芯片之含氧、含碳量预测 §C. 磊晶之厚度量测
    是怎么测试的呢?
  • 该帖子已被版主-tangtang加2积分,加2经验;加分理由:欢迎wpsun0521。
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  • jieun330

    第1楼2012/07/10

    您好! 我们是兴和仪器上海有限公司。

    这二个测定需要傅立叶红外光谱仪器附件。

    我想了解发给你一个详细资料。

    jechoi@scinco.com





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  • tangtang

    第2楼2012/07/10

    具体的检测方法能贴上来吗?

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  • wpsun0521

    第3楼2012/07/12

    没有人测过吗?

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  • jieun330

    第4楼2012/07/12

    那天别人找这试验方法。 Wafer仪器可以测定含量EPI, BPSG, Oxygen, Carbon 。

    这是傅立叶红外光谱仪器附件做在美国品牌。

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  • wanttofly

    第5楼2012/07/12

    置顶贴的苦主好像就是用在半导体行业的,要有特殊的东西,还是慎重点选择,千万别买了成摆设。

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