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电镜观察时如何设置工作距离working distance

sept

2012/07/27

扫描电镜（SEM/EDS）

工作距离指物镜极靴下表面与试样表面之间的距离（在电镜电脑屏幕上通常以WD+数字显示）。

需要注意的是1.真实的WD是需要将电子束聚焦到样品表面之后，显示的WD才准确。（直白翻译：Focus调清楚之后，显示的WD才是真实的）但工作距离与电子束是否聚焦无关，即调不调清楚WD该是多少还是多少。

2.即使电镜的BSE探头在极靴下面，其工作距离仍然是极靴下表面到试样表面。而通常BSE探头厚度2mm左右，因此实际的工作距离是电镜显示的WD-2mm左右。（电镜操作中，如果BSE探头在极靴下，请注意调整Z高度时为其留位，否则会撞坏BSE探头）

做图像观察时，工作距离越小图像分辨率越高。目前越来越多的电镜支持用极小的工作距离来观察nm级的样品。而对断口分析时，为了避免表面不平而导致高的尖端撞击极靴，往往采用大工作距离。

做EDS能谱时，通常具有最佳的工作距离。使尽可能多的x-ray沿探测器轴向进入探测器，从而获得最高计数率。低于或高于此最佳工作距离都会降低x-ray的计数甚至检测不到信号。

而如何了解自己的能谱仪的最佳工作距离呢？

1，自然是工程师安装之后会建议您在xx工作距离下做能谱。该距离通常就是本设备的最佳值。

2如果是INCA系统，我们还可以在软件上发现该最佳距离。路径：INCA-选项-电镜控制。点开电镜控制可以在最下面一行看到：建议的工作距离（毫米）后面的数字是多少，那就请在此距离下做能谱，就可以使能谱在最佳效率下工作。

另外，还需要补充的是，因为多数电镜的样品室较大，允许同时放入多个样品检测。如果也同时需要做能谱分析时，我们建议：

1将高度不同的样品垫高至几乎同高，这样做低样品时，调整到需要的工作距离后，也不需要担心高样品会撞到极靴。

2能谱探头毕竟装在电镜一侧，做低样品时，将其水平旋转，避免高样品阻挡其信号。

精
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sept

第1楼2012/07/27

好一个硕大的图 ⊙﹏⊙b汗

0

watertime

第2楼2012/07/30

图文并茂，很详细。要是能介绍如何“用极小的工作距离来观察nm级的样品”就更好了。

0

dooby

第3楼2012/07/30

很详细的阐述嘛

0

小M

第4楼2012/07/31

应助达人

一批次进多个样品，如果要打能谱，高度差别就不能太大，否则调不到合适打能谱的工作距离去

0

kmyxyyy

第5楼2012/09/09

很详细的阐述嘛

0

sept

第6楼2012/09/29

补充一点，因为前几天刚遇到一个事情，要做断口的能谱，开始一直没有信号，后来才发现原来采集的点是对着能谱探头的另一个面。也就是说能谱探头装在电镜左面时，要做断口样品，则需要注意采集点要对着能谱的一面，如果是背面的话，会被断口的高点阻挡了信号。
此时可以换一面采集，或者将样品旋转180度，使采集点面朝探头。

0

小M

第7楼2012/09/30

应助达人

如果不是因为采集点比周围深，信号出不来的话，就可以考虑是不是背朝能谱探头
sept(sept) 发表:补充一点，因为前几天刚遇到一个事情，要做断口的能谱，开始一直没有信号，后来才发现原来采集的点是对着能谱探头的另一个面。也就是说能谱探头装在电镜左面时，要做断口样品，则需要注意采集点要对着能谱的一面，如果是背面的话，会被断口的高点阻挡了信号。
此时可以换一面采集，或者将样品旋转180度，使采集点面朝探头。

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kmyxyyy

第8楼2012/09/30

很详细。。。。。。。。。。。。

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sept

第9楼2012/10/04

正解
小M(mitchell_dyzy) 发表:如果不是因为采集点比周围深，信号出不来的话，就可以考虑是不是背朝能谱探头

1

kld527

第10楼2012/11/07

学习了···很详细···

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