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仪器维护窗口听到气体声音

envirend

2012/12/31

前一段时间更换了气体和减压阀，今天氩气吹扫时候发现：维护窗口听到气体声音，不管开那一路气体（等离子气体、载气、辅助气、稀释气体），都能听到气体声音。大家遇见过这种情况吗？如何处理？

另外在氩气吹扫窗口关闭后，氩气减压阀超出量程而报警。

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阶前尘

第1楼2012/12/31

应助达人

是不是漏气了，压力正常否？

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timstoicpms

第2楼2012/12/31

Sample Introduction 时，勾选气路，肯定能听到气体流动声音啊。难道气体声音很大？

“氩气减压阀超出量程而报警” ——双表头的氩气减压阀（俗称压力表）咋个报警？

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阶前尘

第3楼2012/12/31

应助达人

一般这个声音很小，且短促，氦气阀打开的时候也有声音，不过声音也不大！

增压是不是太大了！
timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:Sample Introduction 时，勾选气路，肯定能听到气体流动声音啊。难道气体声音很大？

“氩气减压阀超出量程而报警” ——双表头的氩气减压阀（俗称压力表）咋个报警？

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光哥

第4楼2012/12/31

应助工程师

是不是增压阀开高了？机子在使用氩气前后，气路当中的压力不一样的。应当是以开启气体使用后表头的压力在650左右的为准吧？
envirend(envirend) 发表: 前一段时间更换了气体和减压阀，今天氩气吹扫时候发现：维护窗口听到气体声音，不管开那一路气体（等离子气体、载气、辅助气、稀释气体），都能听到气体声音。大家遇见过这种情况吗？如何处理？

打开各路氩气吹扫，声音立马来了；打开冷水，冷水声音立马小了。

另外在氩气吹扫窗口关闭后，氩气减压阀超出量程而报警。

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envirend

第5楼2012/12/31

应助达人

肯定是漏气
阶前尘(jieqian1211) 发表:是不是漏气了，压力正常否？

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envirend

第6楼2012/12/31

应助达人

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声音很大；氩气减压阀超量程而报警：正常情况下，氩气吹扫界面关闭后不出现此情况--现在发现为仪器里面的那根蓝色管路掉啦，让我查查看我什么地方插。
timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:Sample Introduction 时，勾选气路，肯定能听到气体流动声音啊。难道气体声音很大？

“氩气减压阀超出量程而报警” ——双表头的氩气减压阀（俗称压力表）咋个报警？

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timstoicpms

第7楼2012/12/31

7700x背面没有蓝色气体管路啊。

envirend(envirend) 发表: 现在发现仪器后面的那根蓝色管路掉啦，让我查查看，往什么地方插。

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envirend

第8楼2012/12/31

应助达人

timstoICPMS(timstoICPMS) 发表: 我没有表述清楚，把仪器的侧面和顶盖打开后，会发现有蓝管路、有三通。现在那根蓝色管路已经接通。

7700x背面没有蓝色气体管路啊。

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timstoicpms

第9楼2012/12/31

你说的是射频发生器旁的蓝色管路吧？

envirend(envirend) 发表: 我没有表述清楚，把仪器的侧面和顶盖打开后，会发现有蓝管路、有三通。现在那根蓝色管路已经接通。

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envirend

第10楼2013/01/01

应助达人

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