扫描电镜样品台移动时发出异响

我建议是在开仓的情况下大幅移动样品台，按照JSM-6360应该是在开前门的情况下，操作Stage使样品台大幅移动，然后注意观察声源究竟是来自哪里。估计是马达电机或者机械传动系统磨损打滑之类的。

楼上正解，马达或丝杆有问题吧

电控马达轴该清洗上油了

这个能自己操作吗？还请指导，谢谢！

根据您说的方法，我考察了下，只有Y轴移动的时候才发出声响，而且来回移动过程中是在同一个位置时发出声响，我想可能是润滑有问题，可是不知道该用什么来润滑，一般的润滑油可以吗？还请专家赐教，谢谢！

你最好还是给日本电子的工程师打个电话问问，看他有什么建议。

按照您的描述，应该是丝杆上某一位置的润滑油由于时间过长而老化干裂，导致样品台行程中只要经过这一位置，就发生摩擦噪音。这个还得LZ您继续自习观察，确定具体的位置，如果位置实在难以处理，还得JEOL的维修工程师登场。这个油估计得用高沸点油，回头我帮您问问，请再给我一天时间。

===================第=========二=========天=========分=========隔=========线====================

正如楼下冯老师所言，真空硅脂是个非常好的润滑剂。但是涂装之前请务必把丝杆上先前干裂的润滑油清理干净。

需要涂抹“真空硅脂”润滑，其他的都不行。

非常感谢您的帮助，谢谢！祝冯老师蛇年大吉！身体健康！万事如意！
刚才查了下，正好有真空硅脂，可以自己试试了。