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背散射像会受内部荷电影响吗？

  • fengyonghe
    2013/04/12
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 不导电样品表面经导电处理后其内部仍然是不导电的，表面荷电问题解决了，内部荷电问题仍然没有解决。这对背散射电子像和能谱分析会有怎样的影响呢？

    我这样考虑大家意下如何？对背散射图像应该影响不大，因为在背散射区域基本上是入射电子数等于背散射电子数加上继续向深度方向散射的电子数，所以在背散射区域以外可能会有荷电，形成负电场。这个负电场也有使入射电子背散射出试样的可能性，数量不是很多，但对背散射像有一些影响，可能平时并未影响图像的清晰度。假如样品是由多相组织组成的，各个相的漏电能力不同，则负电场也是不均匀的，这就会在背散射图像上叠加一层不均匀的灰度像。我很夸张地模拟成下面的两张图，左边是背散射电子像，右边叠加了内部荷电的影响，只是太夸张了。大家怎么看？

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  • fengyonghe

    第1楼2013/04/18

    上个月的零回帖顶一下。

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  • 小M

    第2楼2013/04/18

    应助达人

    是这个月的零回帖。这个，真看不懂

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:上个月的零回帖顶一下。

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  • sophia17_2

    第3楼2013/08/27

    请问继续向深度方向散射的电子数我是否可以理解为就是样品吸收的电子数呢？如果是吸收了的电子，为什么会积累在在背散射区域以外呢？可能在背散射区域内也有荷电吗？

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  • fengyonghe

    第4楼2013/08/27



    “电子继续向深度方向散射”指的是“背散射”产生区域以下的区域，“特征X-射线”区占了很大比例。

    sophia17_2(sophia17_2) 发表:请问继续向深度方向散射的电子数我是否可以理解为就是样品吸收的电子数呢？如果是吸收了的电子，为什么会积累在在背散射区域以外呢？可能在背散射区域内也有荷电吗？

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  • fengyonghe

    第5楼2014/05/29

    有了一个答案，当束流大于10的负5次方以上时有可能看到那种干扰。没人用这么大的束流。

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  • fengyonghe

    第6楼2014/05/29

    束流要达到10的负5次方以上可能会看到那种影响。

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  • 驰奔

    第7楼2014/06/12

    超过电子显微镜使用范畴了，可以忽略不计了。
    赞一个，并学习！

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