扫描电镜(SEM/EDS)
bybls_74
第1楼2014/04/24
应该是会有的,如果放大倍数很大,打的区域很小,束斑大小又比较大的话,那激发的X射线有可能就不仅仅局限于那个部位啦!
胖胖熊
第2楼2014/04/24
降低电压
梅子的梅
第3楼2014/04/24
谢谢解惑!但是怎样才能判断束斑的大小而选择采集面积呢?同一倍数,采集面积的不一样会不会也有影响啊?
第4楼2014/04/24
何解!你们打能谱时的加速电压一般是多少啊?
第5楼2014/04/24
可以降低电子入射深度,提高空间分辨率
fengyonghe
第6楼2014/04/24
你说的这是选区扫描。选区的大小不要超过目标物。对基体成分测量时选取可以大些,有代表性。
第7楼2014/04/25
嗯嗯,是的!但如果是同一目标物,选取区域的大小对其测试结果的影响大不大?另外若要对比不同样品的测试,选区大小是不是一样大才有对比性呢?
第8楼2014/04/25
首先是放大倍数一样大,然后是选区一样大。
cvbs11
第9楼2014/04/26
如果是采用的点打的方式呢?降低电压固然可以降低电子入射深度,可同时带来的是能量高的元素无法激发出来,有什么办法可以两者兼顾吗?
第10楼2014/04/26
据说已经有了利用L线系的能量分析系统,解决这个矛盾。
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