扫描电镜(SEM/EDS)
fengyonghe 2014/05/15
这要看测试的样品,稳定不积电的样品cps1500以上就可以测试,死时间控制在40%左右。不稳定样品,越不稳定,束斑越要加大,争取短时间测完。死时间不大于60%也能测试。不导电样品要做导电处理。
cvbs11 2014/05/16
要具体看你的设备是哪个品牌哪个型号的,各种机器改参数的方法也不一样的
小M 2014/05/15
改spotsize就行了
fengyonghe
第1楼2014/05/15
小M
第2楼2014/05/15
cvbs11
第3楼2014/05/16
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