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FEI Quanta DB 235光阑及像散调节

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 求助论坛的各路高手，现在用FEI Quanta DB 235做电子束曝光，正式做曝光之前需要将光阑、像散调节好，现在遇到了几个问题：

    1. 30 um的光阑孔，电对中时十字线已经拉到屏幕的最下方了图像还是略微有上下左右晃动而非呼吸式的，是因为机械对中就没对好吗还是光阑被污染了呢？

    2. 像散调节完全是没有经验了，现在的做法是调到感觉上最清楚为止，但曝光后有时候能明显发现束斑是椭圆形的，感觉像散调节有运气成分，以前在论坛里见到有人说“模糊趋势沿0度和90度方向则调x方向像散，沿45度和135度方向则调y方向像散”，有什么依据吗？

    3. 因为曝光用的束流只有几十个pA，图像信噪比略差，根据图像清晰度来调节略显吃力，有没有什么trick呢？

    诚求指导！
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    +关注 私聊

  • cvbs11

    第1楼2014/05/20

    先清洁好物镜再做吧，否则像散无法调节到最佳

0
    +关注 私聊

  • 驰奔

    第2楼2014/06/13

    机械优先电磁调整

0
    +关注 私聊

  • 驰奔

    第3楼2014/06/13

    1、机械优先电磁调整，光阑对中和污染无关。

    2、椭圆形束斑只有在欠或过聚焦时候出现，应该是有象散没有调节到位，但你的情况不是象散器能解决的，还要重复工作1 ，

    3、 重复1、2 会好一些。核心是电枪亮度要好，可以认真设置电子枪参数。

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