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TPP型椭偏仪怎么测薄膜反射率

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    2014/06/06
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紫外可见分光光度计(UV)

  • 求教大神,这是老师给的任务 用椭偏仪测薄膜反射率 求教一下 怎么测?
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  • tutm

    第1楼2014/06/07

    这种仪器好像原本并不是测这个用的。
    我想你老师让你测薄膜反射率,建议你最好先问下老师使用什么做参比物,也就是要一个同等测试条件下已知反射率的样品。
    没有参比物的话,那就只能用绝对方法来测试,也就是反射光强除以光源原始光强的方法。这就要改造仪器了,将仪器改为光源可以直接照射进入检测器的结构,这样才能获得光源原始光强,然后测样品反射光强后才能计算得到反射率。不过这么试着做可能会因为激光光源强度较高而损坏检测元件,最好事先告诉老师,让他有些心理准备。

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    第2楼2014/06/07

    老师是给了两个白板的反射率谱的,是不是就拿这个做参照物?

    tutm(tutm) 发表:这种仪器好像原本并不是测这个用的。
    我想你老师让你测薄膜反射率,建议你最好先问下老师使用什么做参比物,也就是要一个同等测试条件下已知反射率的样品。没有参比物的话,那就只能用绝对方法来测试,也就是反射光强除以光源原始光强的方法。这就要改造仪器了,将仪器改为光源可以直接照射进入检测器的结构,这样才能获得光源原始光强,然后测样品反射光强后才能计算得到反射率。不过这么试着做可能会因为激光光源强度较高而损坏检测元件,最好事先告诉老师,让他有些心理准备。

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    第3楼2014/06/07

    这两个白板的反射率都是拿分光计测的。

    tutm(tutm) 发表:这种仪器好像原本并不是测这个用的。
    我想你老师让你测薄膜反射率,建议你最好先问下老师使用什么做参比物,也就是要一个同等测试条件下已知反射率的样品。
    没有参比物的话,那就只能用绝对方法来测试,也就是反射光强除以光源原始光强的方法。这就要改造仪器了,将仪器改为光源可以直接照射进入检测器的结构,这样才能获得光源原始光强,然后测样品反射光强后才能计算得到反射率。不过这么试着做可能会因为激光光源强度较高而损坏检测元件,最好事先告诉老师,让他有些心理准备。

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  • tutm

    第4楼2014/06/07

    那两块白板在分光光度计上是用什么附件和条件测的?

    我想,如果是一定角度的绝对反射附件或者定角度反射方法测的,那可以用,但你的椭圆偏振干涉仪也应该调到相近的入射角度和反射角度测,这样才能保持测试条件相近,不然结果可能没意义。如果这些白板数据是用积分球测的,那是漫反射的综合反射率,不能用来做参比物,因为测试条件差别太大了。

    昵称不好取(v2898511) 发表: 老师是给了两个白板的反射率谱的,是不是就拿这个做参照物?

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    第5楼2014/06/07

    老师还给了这么一组数据 RTmethod[PolRT=45.00, RevsRT=5, SlitRT=1700, AutoSlitMin=100, Interleave=Off, WVASE=3.770, HardVer=6.256, ]
    Original[3zheng#mo-r-30-60du.dat]
    , Scatterometry,
    nm

    pR    240.000000    -2.000000    0.000241542    0.0100048    30.000000 说是从这组数据求反射率

    tutm(tutm) 发表:那两块白板在分光光度计上是用什么附件和条件测的?

    我想,如果是一定角度的绝对反射附件或者定角度反射方法测的,那可以用,但你的椭圆偏振干涉仪也应该调到相近的入射角度和反射角度测,这样才能保持测试条件相近,不然结果可能没意义。如果这些白板数据是用积分球测的,那是漫反射的综合反射率,不能用来做参比物,因为测试条件差别太大了。

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  • tutm

    第6楼2014/06/07

    是椭圆仪上的?看不懂。

    昵称不好取(v2898511) 发表:老师还给了这么一组数据 RTmethod[PolRT=45.00, RevsRT=5, SlitRT=1700, AutoSlitMin=100, Interleave=Off, WVASE=3.770, HardVer=6.256, ]
    Original[3zheng#mo-r-30-60du.dat]
    , Scatterometry,
    nm

    pR 240.000000 -2.000000 0.000241542 0.0100048 30.000000 说是从这组数据求反射率

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    第7楼2014/06/08

    嗯 椭偏仪上的 仪器叫WVASE32

    tutm(tutm) 发表:是椭圆仪上的?看不懂。

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  • tutm

    第8楼2014/06/08

    呵呵,你这个工作有点挑战性的,先把每项数据的意义搞清吧。没有具体使用过椭偏仪,只知道些原理,不好妄猜。

    昵称不好取(v2898511) 发表:嗯 椭偏仪上的 仪器叫WVASE32

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