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扫描电镜(SEM/EDS)
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扫描电镜 column chamber valve 经常报错,是哪出问题了?
zhaokaino1
2014/06/24
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
简单介绍一下情况:
电镜为Zeiss supra 55;最近一段时间,我们电镜在真空值达到要求后经常加不上高压,即点击EHT选项,只有Vent没有EHT On。观察发现是 column chamber valve 显示的是error,而抽好真空后的正常状态应该是column chamber valve显示Open;我们只能重新把真空卸掉,再抽一次,就可以显示正常,可以加高压。有时候真空度达到要求时,column chamber valve一开始显示的是Open,随后听到一声放气的声音,column chamber valve立马显示error。有时不注意,以为真空抽好了,就把设备关掉了,第二天开机就发现电子枪的真空度很低,样品仓的真空正常,但电流很弱,所以只能再泄气花很长时间把电子枪真空抽上来,这样电流才能升上来。这样下去,对设备也不好,还影响实验,所以求助各位有经验的老师,知不知道这是什么地方出了问题,感谢!
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