扫描电镜(SEM/EDS)
fengyonghe
第1楼2014/06/28
就这个样品讲,连续降低高压直到不荷电。
asahi42
第2楼2014/06/28
虽然放大倍数比较低,但是WD也太大了些,这样会导致信号量不足。对于3400,5kV的束流比6kV要大,图像信息量也会好。3kV和5kV对于3400已经是很低的加速电压了,建议喷金再喷厚些。
第3楼2014/06/28
没注意到是钨灯丝电镜,电压不宜过低。
制样师
第4楼2014/06/28
下次试试减小WD和增加喷金时间看看。多谢指点
第5楼2014/06/28
是啊,电压太低了噪点多,信号差。
第6楼2014/06/29
只有800倍,束斑直径取150nm会好很多。
第7楼2014/06/29
5因为不能经常摸电镜,3400的束斑直径怎么调?
驰奔
第8楼2014/07/02
楼主的图像,怀疑样品都没喷金。或者喷了,没接地气
chinalco
第9楼2014/07/28
多喷金减小工作距离,800倍好模糊啊
第10楼2014/07/28
这张图未必是荷电,样品的毛毛多,二次电子发射量大,束流小、背低噪音高。这种样品要求景深大800倍工作距离17mm还是近了些。
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