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The colum pressure is too high,是怎么回事？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 电镜是FEI QUANTA 450 热场 抽真空抽不上去，弹出The colum pressure is too high。 向各位大侠求组如何排除此类故障。
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    +关注 私聊

  • fengyonghe

    第1楼2014/08/20

    在舱门处涂抹真空硅脂试试。

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  • canne_yswei

    第2楼2014/08/22

    真空系统漏气了？

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  • fengyonghe

    第4楼2014/08/28

    那你后边的回帖我也不用看了~~

    ws4976497(v2814413) 发表:我就是来看看

0
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  • jeolzxj

    第5楼2014/08/29

    这个问题主要是真空计问题导致的，一般要修改系统参数，在注册表里

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