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电子探针与扫描电镜的问题

  • 永恒的宇
    2014/09/10
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 悬赏金额:5积分状态:已解决
  • 请问,电子探针与扫描电镜的区别是什么?

sweetapple986 2014/09/12

电子探针的束流比扫描电镜大得多,可看作大功率的扫描电镜,但大束流带来的负面影响就是空间分辨率差,也就是成像效果差一些,一般配备波谱仪做成分分析,因为波谱的半高宽小,容易分辨元素,同时波谱仪也需要大束流来保证计数率。

    +关注 私聊
  • sweetapple986

    第1楼2014/09/12

    电子探针的束流比扫描电镜大得多,可看作大功率的扫描电镜,但大束流带来的负面影响就是空间分辨率差,也就是成像效果差一些,一般配备波谱仪做成分分析,因为波谱的半高宽小,容易分辨元素,同时波谱仪也需要大束流来保证计数率。

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