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关于纳米区域电子衍射（NAED）和纳米束电子衍射的区别？

秋江

2014/12/31

透射电镜（TEM）

这个纠结我很久了！哪位高手给点指点
文献中提到的NAED是通过用很小的C2光阑来减小束斑（比如10um），同时保持电子束平行入射，因此可以得到几十纳米区域的锐利的衍射斑。但是我们的FEI电镜C2的最小尺寸都是50um，没法实现那种情形。
于是我尝试用纳米束衍射来做。我在Spot Size7, Gun lens3的情形下做纳米衍射，我通过调整C2（Intensity),可以改变衍射斑的直径大小，并且在一定的束斑大小下也可以得到衍射斑而不是衍射盘。
我想问的是：这两种情形下得到的锐利的衍射斑有什么区别，因为感觉第一种肯定是平行束入射，第二种却是在会聚束情形下得到的（但也有可能改变C2的过程中能得到近平行的电子束）。

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