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见识下VARIAN 系列ICP的RF功率管功率管设备及附属工作图

JOE HUI

2017/06/11

之前设备工作中频繁熄火，考虑到设备使用已经到了第七个年头，一般很少对设备核心部件做维护，周五，工程师上门对设备做了检查和评估，如下图：

VARIAN 700系列的RF工作仓还是挺占空间的，上图是清理灰尘后的

RF功率管是MADE IN USA，设备点火后功率管是烧的通红的

打开时候里面灰尘很多，工程师使用小毛刷和无尘纸擦了好久，VARIAN 系列通过捕风对RF功率管工作和设备内部降温，有些设备是通过水冷的方式给RF功率管工作和设备内部降温，比如利曼的ICP，设备清洁维护不到位的话，特别是使用时间比较长的设备问题还是容易爆发的，您的设备是否也出现过类似问题，欢迎讨论

分
该帖子已被版主-tang566加3积分，加2经验;加分理由:话题

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abcpgf

第1楼2017/06/12

应助达人

功率管更换比较频繁了。

0

tang566

第2楼2017/06/12

应助达人

没清理前，功率管上的灰尘多吗？

0

tang566

第3楼2017/06/12

应助达人

清理RF工作仓有那些益处？

0

JOE HUI

第4楼2017/06/13

应助达人

坏了就得换了
abcpgf(abcpgf) 发表:功率管更换比较频繁了。

0

JOE HUI

第5楼2017/06/13

应助达人

有灰尘，周边灰尘很多
tang566(tang566) 发表:没清理前，功率管上的灰尘多吗？

0

JOE HUI

第6楼2017/06/13

应助达人

灰尘多造成短路，设备点火后熄火报错等信息
tang566(tang566) 发表:清理RF工作仓有那些益处？

0

abcpgf

第7楼2017/06/14

应助达人

只是清理灰尘，没有更换功率管就好了？
JOE HUI(xurunjiao5339) 发表: 灰尘多造成短路，设备点火后熄火报错等信息

0

JOE HUI

第8楼2017/06/15

应助达人

问题依旧，还是需要更换
abcpgf(abcpgf) 发表: 只是清理灰尘，没有更换功率管就好了？

0

abcpgf

第9楼2017/06/16

应助达人

功率管也是一种耗材，时间久了就需要更换的。
JOE HUI(xurunjiao5339) 发表: 问题依旧，还是需要更换

0

sdjnqcx

第10楼2017/07/03

这个大功率管还有匹配箱跟热电的iris是一样的。

0

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