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如何探测功率器件承受电压时的表面电势

  • Insm_59647be9
    2018/05/10
    • 私聊

扫描探针显微镜SPM/AFM

  • 我现在设计了一款1350V的IGBT,终端耐压有问题，我想在IGBT发射极与栅极接地，在集电极上加1200V的电压，然后用仪器去扫描终端的不同位置的电势，预计电势范围为100V至1200V,不知道开尔文探针能不能扫描，如果不能，什么仪器可以？
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