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如何探测功率器件承受电压时的表面电势

  • Insm_59647be9
    2018/05/10
  • 私聊

扫描探针显微镜SPM/AFM

  • 我现在设计了一款1350V的IGBT,终端耐压有问题,我想在IGBT发射极与栅极接地,在集电极上加1200V的电压,然后用仪器去扫描终端的不同位置的电势,预计电势范围为100V至1200V,不知道开尔文探针能不能扫描,如果不能,什么仪器可以?
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