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FESEM成像不清晰,请问是什么原因

  • 猫的薛定谔
    2019/05/31
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问是由哪些原因导致的?
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  • UNM

    第1楼2019/05/31

    应助达人

    首先看你的样品材质是什么。导电性强的会好很多。
    电镜操作条件也会影响:比如工作距离和电压,另外电子枪对中和像散也是很主要原因,这些都是需要经验和练习积累的。

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  • RBLEGEND

    第2楼2019/05/31

    应助达人

    灯丝寿命是不是到了?看下拔出电流

    光栅选的太大了也会导致成像不清晰

    加速电压 工作距离 探头BSD SE2

    现拍下样品台看看能不能搞定

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  • 小M

    第3楼2019/05/31

    应助达人

    可能原因比较多,楼上基本提到了。具体还得看你是什么情况。上一张图片可能就知道了。

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  • 猫的薛定谔

    第4楼2019/06/04

    谢谢各位专家!

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  • canne_yswei

    第5楼2019/07/22

    问题有点宽泛啊。
    最好把工作参数发一份,才能针对性的解决问题

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