扫描电镜(SEM/EDS)
fengyonghe
第1楼2019/08/23
显示的放大倍数不准确,要矫正。
SEMDriver
第2楼2019/08/24
对,如何从原理上解释呢
第3楼2019/08/24
就是调整问题,比如1微米在图片上的长度可调大或调小。由安装时工程师调整。
第4楼2019/08/25
对的,我们预先在一个焦距下进行校准,然而焦距变化了,为什么就不准了呢?
第5楼2019/08/27
焦距变大了,如果电子束不是垂直而是倾斜照射在样品上,那么显示的放大倍率实际上是变大了,如果去量测距离,会让量测的距离偏小,对吗?我们这边实际上是:当聚焦电流变小时,即焦距变大,量测的距离值会偏大~这是为什么呢?
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