其他仪器综合讨论
▲ 直线度测量的光路原理构建图
▲ 运动轴的横向直线度测量示意图
▲ 运动轴的纵向直线度测量示意图
轴向量程
测量范围
测量精度
分辨力
短距离
(0.1~4.0)m
±3mm
±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm
0.01μm
长距离
(1.0~20.0)m
±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
0.1μm
小卡
第1楼2024/09/20
用激光干涉仪测量五轴机床平移轴直线度误差可以这样做哦。首先,要把激光干涉仪正确安装在机床的合适位置,确保光路畅通。然后,让机床的平移轴按照一定的程序移动,激光干涉仪会发射激光并接收反射回来的光,通过测量光程差的变化来确定平移轴的位置变化。在测量过程中,要注意避免外界干扰,比如振动、温度变化等。测量完成后,根据激光干涉仪记录的数据进行分析,就可以得出平移轴的直线度误差
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