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拉曼光谱分析薄膜内应力
carnivore
2020/04/27
私聊
测试版面
各位大侠高手大牛,请教一个问题,在P型Si片上沉积了2-3微米厚的薄膜(DLC),采用显微拉曼光谱能否穿透2-3微米厚的薄膜检测到Si的拉曼峰(520cm-1)?拉曼光谱仪:RM2000型激光Raman光谱,采用Ar+激光器功率为20mW,激光线波长为514.5nm。在此谢谢各位大侠啦
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私聊
carnivore
第1楼
2020/04/27
感觉不太可能啊。。几百nm可以的,而且RM2000这个仪器经过物镜以后激光功率也就5mW以下的
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