仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
当前位置: 仪器社区 >质谱 > ICP-MS > 帖子详情

晶圆表面气相分解后,收集液体所用的回收液,为什么要用到双氧水

  • Insm_7eafc8d7
    2020/07/07
  • 私聊

ICP-MS

  • 晶圆表面气相分解后,收集液体所用的回收液,为什么要用到双氧水???,双氧水起到什么作用,为什么不用硝酸???

    请教各位大大!!!
    +关注 私聊
  • summerlwl

    第1楼2020/07/08

    我猜是:双氧水的氧化性很强,可以使晶圆表面产生氧化硅保护层。

0
    +关注 私聊
  • 光哥

    第2楼2020/07/08

    应助工程师

    VPD里面已经有HF和HNO3了吧,H2O2的氧化性相对较强,另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些

0
    +关注 私聊
  • Insm_7eafc8d7

    第3楼2020/07/09

    按照你所说H2O2对于阳离子比HNO3要好,ICP-MS分析的是金属都是阳离子吧,那还要HNO3干什么呢????

    光哥(xsh1234567) 发表:VPD里面已经有HF和HNO3了吧,H2O2的氧化性相对较强,另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些

0
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...