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安捷伦5975B关机一周,清洗离子源后,无法抽真空,涡轮泵转速为3

气质联用(GCMS)

  • 求助!安捷伦5975B关机一周,清洗离子源后,无法抽真空,涡轮泵转速为3!是否是涡轮泵故障还是说漏气了?
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  • lzq168

    第7楼2021/04/19

    应助达人

    漏气为大概率

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  • 安平

    第6楼2021/04/19

    应助达人

    既然维护操作之后,发生故障。

    那么建议再次检查和维护一下系统,是否存在真空密封不良问题或者维护之后存在安装不良的问题

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  • m3128509

    第5楼2021/04/16

    漏气的可能性占80%

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  • PAEs

    第4楼2021/04/16

    应助达人

    检查下真空腔的密封圈是否在凹糟里面,

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  • yxwang1990

    第3楼2021/04/15

    应助达人

    多数为大漏气

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