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日立4800能谱面扫分辨率低是什么原因?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 电镜型号是日立4800,能谱是EMAX(需要加液氮) 不知道为什么能谱面扫的分辨率很低,是因为能谱型号太老的原因吗?图一是日立的面扫,图二是蔡司热场发射?牛津能谱的面扫
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  • SEMDriver

    第1楼2021/10/09

    你这个与分辨率没啥关系 看哈你在4800时的束流大小,WE'D, 对应能谱cps ,另外两个能谱的晶体面积及型号是否一致

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  • 扫描兔

    第2楼2021/10/11

    日立的是 20KV 束流20,WD12mm,Probe Current 是Norm,蔡司的是另外一个公司的 只是拿来对比

    SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:你这个与分辨率没啥关系 看哈你在4800时的束流大小,WE'D, 对应能谱cps ,另外两个能谱的晶体面积及型号是否一致

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  • 扫描兔

    第3楼2021/10/11

    这两个能谱不是一个型号的,蔡司的是热场发射,日立的是冷场发射

    SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:你这个与分辨率没啥关系 看哈你在4800时的束流大小,WE'D, 对应能谱cps ,另外两个能谱的晶体面积及型号是否一致

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  • Ins_df409723

    第4楼2021/10/16

    牛津的那个估计是个很好的电制冷eds 液氮制冷的没法比

    而且冷场电镜电流小 做eds 打点还行 面扫就太为难它了

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  • 扫描兔

    第5楼2021/10/18

    确实 这个能谱太老了,不过我大概调试了一下,做完面扫之后 还需要在电脑上再调对比度和亮度才行

    Ins_df409723(Ins_df409723) 发表:牛津的那个估计是个很好的电制冷eds 液氮制冷的没法比而且冷场电镜电流小 做eds 打点还行 面扫就太为难它了

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