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请问有朋友做过晶圆盒中气体分析吗？有那些可能的成分？用什么方法？

symmacros

2022/01/24

气质联用（GCMS）

请问有朋友做过晶圆盒中气体分析吗？有那些可能的成分？用什么方法？

相关话题

深蓝

第1楼2022/01/24

应助达人

之前接触过晶圆盒，好像对内部气体组分没有什么要求。一般能保证洁净的环境即可

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symmacros

第2楼2022/01/24

应助达人

谢谢，请问晶圆盒一般是什么材质？
深蓝(mitsumi) 发表:之前接触过晶圆盒，好像对内部气体组分没有什么要求。一般能保证洁净的环境即可

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深蓝

第3楼2022/01/24

应助达人

一般都是半透明的，像是塑料，但是好像还添加了别的，具体的不清楚。

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光哥

第4楼2022/01/24

应助工程师

极大概率是PFA，也只有这种塑料最能搞到洁净的程度了
symmacros(jimzhu) 发表:谢谢，请问晶圆盒一般是什么材质？

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symmacros

第5楼2022/01/24

应助达人

谢谢，我考虑一下PFA可能有什么挥发性成分。
光哥(xsh1234567) 发表: 极大概率是PFA，也只有这种塑料最能搞到洁净的程度了

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symmacros

第6楼2022/01/24

应助达人

多谢回复，了解了。
深蓝(mitsumi) 发表:一般都是半透明的，像是塑料，但是好像还添加了别的，具体的不清楚。

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光哥

第7楼2022/01/24

应助工程师

PFA纯度足够的话，理论上应该不会有什么可以挥发的了。IC制程产线上各种超纯酸的输送也是用这种材料
symmacros(jimzhu) 发表: 谢谢，我考虑一下PFA可能有什么挥发性成分。

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symmacros

第8楼2022/01/24

应助达人

多谢。是的，理论上应该很纯的。
光哥(xsh1234567) 发表: PFA纯度足够的话，理论上应该不会有什么可以挥发的了。IC制程产线上各种超纯酸的输送也是用这种材料

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安平

第9楼2022/01/25

应助达人

好像也有PP材质的晶圆盒。

况且晶圆盒内部还有其他部件。

可以参照一下类似的包装材料的分析方法。

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symmacros

第10楼2022/01/26

应助达人

多谢安平老师，我看一下相关的包材分析方法。
安平(byron1111) 发表: 好像也有PP材质的晶圆盒。

况且晶圆盒内部还有其他部件。

可以参照一下类似的包装材料的分析方法。

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