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请问有朋友做过晶圆盒中气体分析吗?有那些可能的成分?用什么方法?

气质联用(GCMS)

  • 请问有朋友做过晶圆盒中气体分析吗?有那些可能的成分?用什么方法?
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  • 深蓝

    第1楼2022/01/24

    应助达人

    之前接触过晶圆盒,好像对内部气体组分没有什么要求。一般能保证洁净的环境即可

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  • symmacros

    第2楼2022/01/24

    应助达人

    谢谢, 请问晶圆盒一般是什么材质?

    深蓝(mitsumi) 发表:之前接触过晶圆盒,好像对内部气体组分没有什么要求。一般能保证洁净的环境即可

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  • 深蓝

    第3楼2022/01/24

    应助达人

    一般都是半透明的,像是塑料,但是好像还添加了别的,具体的不清楚。

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  • 光哥

    第4楼2022/01/24

    应助工程师

    极大概率是PFA,也只有这种塑料最能搞到洁净的程度了

    symmacros(jimzhu) 发表:谢谢, 请问晶圆盒一般是什么材质?

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  • symmacros

    第5楼2022/01/24

    应助达人

    谢谢,我考虑一下PFA可能有什么挥发性成分。

    光哥(xsh1234567) 发表: 极大概率是PFA,也只有这种塑料最能搞到洁净的程度了

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  • symmacros

    第6楼2022/01/24

    应助达人

    多谢回复,了解了。

    深蓝(mitsumi) 发表:一般都是半透明的,像是塑料,但是好像还添加了别的,具体的不清楚。

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  • 光哥

    第7楼2022/01/24

    应助工程师

    PFA纯度足够的话,理论上应该不会有什么可以挥发的了。IC制程产线上各种超纯酸的输送也是用这种材料

    symmacros(jimzhu) 发表: 谢谢,我考虑一下PFA可能有什么挥发性成分。

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  • symmacros

    第8楼2022/01/24

    应助达人

    多谢。是的,理论上应该很纯的。

    光哥(xsh1234567) 发表: PFA纯度足够的话,理论上应该不会有什么可以挥发的了。IC制程产线上各种超纯酸的输送也是用这种材料

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  • 安平

    第9楼2022/01/25

    应助达人

    好像也有PP材质的晶圆盒。

    况且晶圆盒内部还有其他部件。

    可以参照一下类似的包装材料的分析方法。

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  • symmacros

    第10楼2022/01/26

    应助达人

    多谢安平老师,我看一下相关的包材分析方法。

    安平(byron1111) 发表: 好像也有PP材质的晶圆盒。

    况且晶圆盒内部还有其他部件。

    可以参照一下类似的包装材料的分析方法。

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