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【实战宝典】ICP-MS在半导体集成电路中有哪些应用？

  • 小官人-闭关修炼中
    2022/07/05
    • 私聊

ICP-MS

  • 问题描述：ICP-MS在半导体集成电路中有哪些应用？
    解答：
    ICP-MS广泛应用于测定集成电路制造工艺生产中涉及的硅片、晶圆、湿电子化学品、电子特气、靶材等的无机元素杂质和化学品中的颗粒扫描与分析。

    以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》
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